China lansează primul standard de generator de ozon de calitate semiconductoare, care stimulează industria echipamentelor semiconductoare interne

Industria chineză a semiconductoarelor a atins o piatră de hotar semnificativă odată cu lansarea și implementarea oficială a primului standard de grup din țară pentru generatoarele de ozon de calitate semiconductoare. Eliberată la 9 decembrie 2025, „Cerințe tehnice pentru generatoarele de ozon de calitate semiconductor” (T/CIET 1946-2025) a fost condusă de Qingdao Guolin Semiconductor Technology Co., Ltd., în colaborare cu 17 întreprinderi de top din lanțul de aprovizionare cu semiconductori.

Acest standard de referință umple un gol critic în specificațiile tehnice interne pentru echipamentele cu ozon utilizate în fabricarea semiconductoarelor și a afișajelor de panouri. Generatoarele de ozon joacă un rol indispensabil în procesele cheie ale semiconductoarelor, inclusiv depunerea peliculei subțiri, curățarea plachetelor și îndepărtarea fotorezistenței, unde performanțele tehnice și fiabilitatea lor influențează direct randamentele de fabricare a cipurilor.

Tehnologia mașinii cu ozon a devenit esențială în fabricile moderne de semiconductori, unde cerințele de curățare a suprafețelor au atins precizia la nivel atomic. Teste recente de laborator demonstrează că sistemele avansate de curățare cu ozon UV pot reduce contaminanții organici de pe plachetele de siliciu de la 50 nm la doar 0,5 nm, obținând o îmbunătățire de 100 de ori a eficienței de curățare în comparație cu metodele tradiționale. Acest nivel de precizie este critic pe măsură ce industria avansează către nodurile de proces de 5 nm și 3 nm.

Generatoarele industriale de ozon proiectate pentru aplicații cu semiconductori utilizează metode de descărcare corona sau ultraviolete pentru a genera concentrații precise de ozon, adaptate cerințelor specifice de producție. Spre deosebire de procesele convenționale de curățare umedă care se bazează pe acid sulfuric și peroxid de hidrogen – care pot lăsa reziduuri chimice și pot genera apă uzată semnificativă – curățarea pe bază de ozon oferă o alternativă uscată, fără reziduuri, care se descompune în mod natural în oxigen după utilizare.

Standardul nou stabilit a fost dezvoltat printr-o colaborare extinsă care a implicat actori cheie din industrie, inclusiv Beijing North Huachuang Microelectronics Equipment Co., HuaHai Qingke Co., Tuojing Semiconductor Equipment și Shengmei Semiconductor Equipment, printre altele. Această participare largă a industriei asigură rigoarea științifică a standardului, aplicabilitatea și reprezentativitatea în ecosistemul semiconductorilor.

Aplicațiile mașinilor de dezinfecție cu ozon se extind dincolo de curățarea plachetelor pentru a include procese avansate de oxidare pentru îndepărtarea contaminanților organici din echipamentele și instalațiile de fabricare a semiconductorilor. Tehnologia elimină în mod eficient reziduurile de fotorezist, urmele de solvenți organici și contaminanții moleculari din aer care pot compromite randamentul cipurilor.

Efortul de standardizare, care a început cu aprobarea proiectului în martie 2025 și s-a încheiat cu lansarea finală în decembrie 2025, stabilește specificații tehnice cuprinzătoare și repere de fiabilitate pentru echipamentele de generare a ozonului. Acest lucru oferă producătorilor de semiconductori criterii clare și cuantificabile pentru selecția echipamentelor și validarea procesului.

Analiștii din industrie estimează că piața globală a generatoarelor de ozon va ajunge la 2,36 miliarde de dolari până în 2030, în creștere cu un CAGR de 8,0%, determinată parțial de investițiile în creștere în infrastructura de fabricare a semiconductoarelor și de nevoia de soluții avansate de curățare. Noul standard chinez poziționează producătorii autohtoni pentru a concura mai eficient pe această piață în expansiune, susținând în același timp inițiativa națională mai largă de a consolida capacitățile echipamentelor autohtone de semiconductori.

Privind în perspectivă, implementarea acestui standard este de așteptat să accelereze adoptarea generatoarelor de ozon produse pe plan intern în fabricile de semiconductori din China, reducând dependența de echipamentele importate, asigurând în același timp calitate și performanță consecvente. Pe măsură ce industria semiconductoarelor își continuă expansiunea rapidă, tehnologia standardizată a ozonului va juca un rol din ce în ce mai vital în asigurarea unor medii de producție precise, fără contaminare, necesare pentru producția de cipuri de generație următoare.